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单晶硅对石英坩埚有哪些要求?
发布时间:2014-06-26 作者:admin 文章来源:

没有接触过石英坩埚的人,是不明白单晶硅所起到的作用。下面就有赛诺石英来为你具体介绍下单晶硅对石英坩埚的具体要求有哪些?


石英坩埚的几何尺寸和外观是生产工艺确定的,而纯度是由原料确定的。石英坩埚用原料要求纯度高、一致性好,粒度分布均匀。有害成分高时会影响坩埚的熔制,影响其耐温性,还会出现气泡、色斑、脱皮等现象,严重影响石英坩埚质量。例如:当Al含量过高时会对拉制单晶硅的纯度产生影响,当Na、K、Li等元素含量高时会使石英坩埚软化温度降低,当Cu、^ln、Fe等元素含量高时会产生色斑。有害元素总含量高还会产生一些气泡、白斑等缺陷,造成石英坩埚透明度下降,严重时还影响坩埚成形。

英坩埚是拉制单晶硅的消耗性器皿,每生产一炉单晶硅就用掉一只石英坩埚。因为单晶硅是生产大规模集成电路的原材料,所以对石英坩埚的要求十分苛刻。目前单晶硅的发展主要向大直径、高纯度以及杂质分布高均匀性的方向发展。而石英坩埚是直拉单晶硅生长过程中的重要材料,它的纯度和加工质量会直接影响单晶硅的产量和质量,随着直拉单晶硅投料量和晶体生长直径的不断增大,对石英坩埚的纯度和质量要求越来越高,主要有以下几方面要求:1)材质必须是高纯度半导体级,且纯度要高,有害化学元素小于20X10{;2)耐高温性强,在高温过程中保持高电阻率及防止软化;3)坩埚的尺寸大,国外已普遍使用22英寸及36英寸的石英坩埚;4)气泡要少,气泡在生产中不长大;5)规格精度高,耐温性能好,节约能源。因此,随着对大直径单晶硅质量要求的不断提高,对半导体材料用石英制品及相关材料提出了更高的要求。

所以说单晶硅所起到的作用是非常大的,希望我们的介绍能对你这个方面的知识的了解有所帮助。

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